አጸፋዊ ማግኔትሮን መበተን ቀጭን ውህድ ንብርብር በሰፊ ጋሙት ንኡስ ክፍል ላይ እንደ የላይኛው ንብርብር ወይም እንደ መካከለኛ ንብርብር በብዙ ንብርብር ሽፋን ላይ ለማስቀመጥ በሳል ቴክኒክ ነው። የ"ቀጭን" ወሰን ከጥቂት ናኖሜትሮች እስከ ብዙ ማይክሮሜትሮች ይደርሳል።
ማግኔትሮን ለምን ይተፋል?
Magnetron sputtering በክስተቶች ቅንጣቶች እና ዒላማዎች መካከል ያለው የግጭት ሂደት … ማግኔትሮን መትፋት በዒላማው ካቶድ ላይ መግነጢሳዊ መስክን በማስተዋወቅ እና ገደቦችን በመጠቀም የፕላዝማ እፍጋቱን ይጨምራል። የተተፋውን ፍጥነት ለመጨመር በተሞሉ ቅንጣቶች ላይ ያለው መግነጢሳዊ መስክ።
በምላሽ መትረፍ ማለት ምን ማለት ነው?
አጸፋዊ sputtering ይህም ውህዶች ወደ ፕላዝማ ወደ ፕላዝማ በማስተዋወቅ ውህዶች እንዲቀመጡ የሚያስችል ሂደት ነው argon (በጣም የተለመደ)፣ xenon ወይም krypton።
ማግኔትሮን ስፑተር እንዴት ነው የሚሰራው?
Magnetron sputtering የጋዝ ፕላዝማን የሚያካትት የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ ሲሆን ይህም የሚመነጨው እና የሚቀመጠው ቁሳቁስ በያዘው ክፍተት ውስጥ - 'ዒላማው' ነው። … እነዚህ ግጭቶች ኤሌክትሮኖችን ከሚረጩ ጋዝ አተሞች 'ያንኳኩ' እና ionization ያስከትላሉ የኤሌክትሮስታቲክ መባረርያስከትላሉ።
ለምንድነው RF የሚተፋው?
RF ወይም የሬድዮ ፍሪኩዌንሲ መትፋት የአሁኑን የኤሌትሪክ አቅም በቫኩም አከባቢ በሬዲዮ ፍጥነቶች በመቀያየር በተወሰኑ አይነት የሚተፉ ዒላማ ቁሶች ላይ የሚጨምር ክፍያን ለማስወገድ የሚረዳ ዘዴ ፣ ይህም በጊዜ ሂደት ጠብታዎችን ወደሚተፋው ፕላዝማ ውስጥ መግባትን ያስከትላል…